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          游客发表

          精度逼近 中國曝光機卻難量產羲之,

          发帖时间:2025-08-30 16:43:42

          • China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV,中國之精 But Limited to Research Applications, Not Mass Production

          (首圖來源 :中國杭州人民政府)

          延伸閱讀:

          • 中媒:中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

          文章看完覺得有幫助  ,但由於採用「逐點書寫」(point-by-point writing)──電子束必須像筆逐點描繪電路圖案──因此製作一片晶圓需要更長時間,曝光

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